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彩色共焦传感器
彩色共焦传感器 选择器
工作距离
8mm
16mm
18mm
30mm
40mm
55mm
分辨率
0.01um
0.05μm
0.07μm
0.1μm
0.12mm
线性度
±0.15um
±0.25μm
±0.4μm
±0.5μm
光点直径
25μm
2um
9μm
45μm
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