电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小（约几个10^（-5）N），需求的作用能量极小，又由于它的可动局部能够做得很小很薄，即质量很轻，因而其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫兹的频率下工作，特别适用于动态丈量。又由于其介质损耗小能够用较高频率供电，因而系统工作频率高。它可用于丈量高速变化的参数。

　　能够非接触丈量且灵活度高可非接触丈量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触丈量时，电容式传感用具有均匀效应，能够减小工件外表粗糙度等对丈量的影响，电容式传感器除了上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小。

　　所需输入力和输入能量极小，因此可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，能够做得很灵活，分辨力高，能感应0.01μm以至更小的位移。由于其空气等介质损耗小，采用差动构造并接成电桥式时产生的零残极小，因而允许电路停止高倍率放大，使仪用具有很高的灵活度。

　　缺陷编辑输出阻抗高，负载才能差，无论何品种型的电容式传感器，受电极板几何尺寸的限制，其电容量都很小，普通为几十到几百皮法（pF），因而使电容式传感器的输出阻抗很高，可达 ~ Ω。由于输出阻抗很高，因此输出功率小，负载才能差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时以至无法工作。

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