电容式传感器的电容值普通与电极资料无关,这有利于选择温度系数低的资料,又因自身发热极小,影响稳定性甚微。而电阻传感器有铜损,易发热产生零漂,构造简单电容式传感器构造简单,易于制造和保证高的精度,能够做得十分小巧,以完成某些特殊的丈量。
能工作在高温,强辐射及强磁场等恶劣的环境中,能够接受很大的温度变化,接受高压力,高冲击,过载等;能丈量超高温和低压差,也能对带磁工作停止丈量,动态响应好电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N),需求的作用能量极小。
又由于它的可动局部能够做得很小很薄,即质量很轻,因而其固有频率很高,动态响应时间短,能在几兆赫兹的频率下工作,特别适用于动态丈量。又由于其介质损耗小能够用较高频率供电,因而系统工作频率高。它可用于丈量高速变化的参数。
能够非接触丈量且灵活度高可非接触丈量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触丈量时,电容式传感用具有均匀效应,能够减小工件外表粗糙度等对丈量的影响,电容式传感器除了上述的优点外,还因其带电极板间的静电引力很小。
所需输入力和输入能量极小,因此可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等,能够做得很灵活,分辨力高,能感应0.01μm以至更小的位移。由于其空气等介质损耗小,采用差动构造并接成电桥式时产生的零残极小,因而允许电路停止高倍率放大,使仪用具有很高的灵活度。
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