随着蒸汽时代的到来,需要用于压力测量仪器的波纹管或波纹管,其中机械位移被传递到指示器指针是第一台压力仪器,并且至今仍在使用。压力测量是一种将压力转换为电能的技术。通常,将其中应变仪结合或扩散的膜片结构用作电阻元件。电阻值在由压力引起的应变下变化。
在电容技术中,压力膜片是电容器的极板,可在压力引起的位移下改变其值,使用膜片技术的压力感测可测量整个膜片上的压力差。根据相关压力,我们使用术语"绝对"(ABSOLUTE),其中参考是真空(第一张图片),"量规"(GAUGE)。
其中参考是大气压(第二张图片)或差值,其中传感器具有两个用于测量两个不同压力的端口。压阻式压力传感器或硅电池这种类型的压力传感器由微机械硅膜片组成,平板式应变仪扩散并融合在其中到硅或玻璃底板。
电阻值约为3.5kOhm.由压力引起的应变使径向电阻器的值增大,而与半径成横向的电阻器的值减小。该电阻变化可高达30%.电阻连接到通电桥,通电桥的输出与压力成正比,将金线或铝线焊接到芯片上的铝触点和插头的玻璃引脚上。
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